半導體加工石墨粉需滿足的要求

來源：未知時間：2022-10-28 13:11打印

一部分半導體生產制造過程中，會添加石墨粉提高性能，但需要考慮石墨粉純度、粒度分布，耐高溫性等等

　　一部分半導體生產制造過程中，會添加石墨粉提高性能，但需要考慮石墨粉純度、粒度分布，耐高溫性等等。下面及時半導體加工用石墨粉的要求：

　　1、純度高

　　對石墨粉純度要求很高，如果雜質含量多，會污染半導體材料。因此除對所應用石墨粉的純度嚴控外，還需經過高溫石墨化處理，以降低灰分。

　　2、粒度分布高

　　用以煅燒的磨具規定生產加工精密度很高，石墨粉顆粒物度要細，顆粒物度細的石墨非常容易超過生產加工精密度，且高溫抗壓強度高，耗損小。

　　3、耐熱

　　半導體工業生產常用石墨器件大多要反復加熱和冷卻，所以石墨材料在高溫條件下，應具備優良的尺寸穩定性和耐熱沖擊性能，以提升石墨器件的使用壽命，

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